本文摘要：据麦姆斯咨询报导，北京大学微纳电子学系由高成臣教授课题组相结合MEMS工艺平台，经过6年的持续研究，在国内首次研制出了高性能的热式声粒子振速传感器，并已完成了声粒子振速传感器与声压传感器的系统集成，制作出有了高性能的MEMS空气声矢量传感器，该传感器需要已完成声压信号的全信息检测。右图分别为MEMS声粒子振速传感器的脆弱芯片及分析仪和MEMS声矢量传感器样品。

据麦姆斯咨询报导，北京大学微纳电子学系由高成臣教授课题组相结合MEMS工艺平台，经过6年的持续研究，在国内首次研制出了高性能的热式声粒子振速传感器，并已完成了声粒子振速传感器与声压传感器的系统集成，制作出有了高性能的MEMS空气声矢量传感器，该传感器需要已完成声压信号的全信息检测。右图分别为MEMS声粒子振速传感器的脆弱芯片及分析仪和MEMS声矢量传感器样品。三轴声粒子速度传感器脆弱芯片及分析仪MEMS声矢量传感器实物图声音由声压信号和声粒子振动速度信号包含，其中声压是标量信号，与方向牵涉到，声粒子振速是矢量信号，包括了声音传播的方向信息。

声矢量传感器是需要同时把声音的声压及声质点振速信号切换为电信号的敏感元件。这种需要同时构建声信号的全息检测技术，将大大增进声学技术的发展，将推展新的检测校准方法制订，新的应用于产品开发，修筑新的应用领域。

由于声粒子振速矢量信号量值较低，信号黯淡，检测可玩性大，多年来少有突破，特别是在是在矢量特性及自噪声方面不存在相当大可玩性，因此以往声音信号检测主要以测量声压信号居多，检测元件主要为麦克风，主要基于压电和电容检测原理居多。基于MEMS的声粒子振速信号必要检测技术是国际上近年来发展的一种新型检测技术，由荷兰屯特大学最先明确提出并构建，获得了许多最重要成果，并积极开展了系统应用于。

高成臣教授课题组相结合微米/纳米加工技术国家级重点实验室工艺平台，基于微纳加工技术开发了热式声粒子振速传感器，突破了高灵敏脆弱结构设计与优化、横跨尺度悬梁结构加工、多传感器构建、黯淡信号检测及脆弱特性测试等关键技术，建构了声压及声质点振速检测系统，构建了声信号的三轴矢量测量。该项技术的突破，将为国内声学技术的发展获取最重要的测试手段。该技术可普遍应用于声学特性测量、多声源定位、发动机故障定位、仪器设备噪声源定位、简单系统的声学身体健康监测、指向性人机对话等，在民用、工业及国防中具有普遍的用途。

MEMS空气声矢量传感器是构建声音信号仅有特性测量的感官系统，经过高成臣教授课题组的长年希望，其核心技术指标早已超过国外最差水平，矢量特性高于42dB，自噪声高于30dB，频响范围100Hz~6kHz，。该技术指标已几乎符合实际用于拒绝，并且传感器工艺技术早已成熟期，可以构建小批量生产。

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